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MOCVD的熱廢氣

發布日期:2015-01-08

有廢氣,但不是很熱。只不過廢氣成份比較復雜,需要獨特的處理系統

Ga、As基的MOCVD尾氣里的東西有劇毒,需要小心處理。

GaN基的MOCVD(目前常用的)里面主要是氨氣,用個能添酸中和的噴淋處理系統就行。

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