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MOCVD設備的工藝冷卻水用量

發布日期：2014-12-30
頂盤的工藝水是帶加熱的，其他地方的常溫冷卻水就可以了。不同大小爐子的水用量不同，和反應室大小有關了。
Aixtron  G4 MOCVD  System  Cooling  Warte   50L/H
上一條：MOCVD設備的操作需要什么樣的水平？
下一條：在清潔mocvd的管路能使用工業酒精擦拭么？多少濃度可用？
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