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MOCVD設備的工藝冷卻水用量

發布日期:2014-12-30
頂盤的工藝水是帶加熱的,其他地方的常溫冷卻水就可以了。不同大小爐子的水用量不同,和反應室大小有關了。
Aixtron  G4 MOCVD  System  Cooling  Warte   50L/H
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