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昭信半導體新型蒸發加熱器通過客戶驗收

發布日期:2015-08-18
 

      日前,由我公司研制生產的新型蒸發加熱器在南京某單位通過產品驗收,各項技術指標均優于客戶要求,贏得客戶贊譽。

      昭信半導體新型蒸發加熱器適用于高質量大規模的蒸發鍍膜,能進行60片2英寸襯底同時鍍膜,具有優良的均勻性和重復性。相比市場上其他同類加熱器,昭信半導體新型蒸發加熱器具有更高的工作溫度、更快的升降溫速率、更小的真空污染、以及更好的工藝重復性,能夠實現市場上現有其他同類加熱器的無縫替代。

      我公司秉承“我們設計、我們制造”的原則,可以提供高質量的標準系列加熱器,還可以根據客戶需要進行加熱器組件的定制。

      蒸發加熱器主要指標:

——最高加熱溫度:1700℃

——工作升溫速度:75℃/min

——降溫速度(1700 to 400℃):15min

——整體漏率:1*E-10mbar?l/s

 

   

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